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量測行程(XY):160x160 mm-315x315 mm量測高度(Z):160-250 mm
零件側面的孔洞或是溝槽等,以接觸式探針量測
鐳射測頭可加裝在Micro-Vu影像量測系統中。InSpec軟體內已含鐳射使用的功能。