量測行程(XY)：420x520 mm-660x700 mm
量測高度(Z)：160-400 mm
適用於PCB電路板，手機，墊片密封圈，汽車，機械加工，金屬薄片等行業，可添加探針系統，鐳射系統，白光系統，旋轉夾頭系統，構建複合感測器量測系統，完成一些特殊尺寸的量測。
使用嶄新的技術，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的量測系統。
該系統包括InSpec量測軟體，可程式化的光學變焦，3X的數碼變焦，非線性平臺補償，非線性光學補償，先進的LED光源系統以及溫度檢測儀。
InSpec量測軟體功能強大：使用滑鼠就能輕鬆編寫程式，專有的系統尋邊功能，先進的光源控制及校正功能，與複合感測器結合，自動校正，可清晰顯示量測資料及公差。
| 型號 | 量測行程(mm) | 機台承重(kg) | XY軸最大速度(mm/s) | Z軸最大速度(mm/s) | 解析度 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 511 | 420x520x160 | 732 | 500 | 250 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1629 |
| Excel 512 | 420x520x250 | 739 | 500 | 250 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1803 |
| Excel 701 | 660x700x160 | 1611 | 500 | 250 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1647 |
| Excel 702 | 660x700x250 | 1613 | 500 | 250 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1819 |
| Excel 704 | 660x700x400 | 1615 | 500 | 250 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x2119 |
