光谱共焦测量系统-配件-MicroVu影像测量仪_2.5次元_全自动影像仪_三坐标测量仪_光学测量_自动化检测

概述

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我们的新型光谱共焦传感器可实现高精度无接触距离和厚度测量。因此，非常适合用于位置和尺寸确定（如微电子元件）、形貌、轮廓等应用，以及粗糙度测量（如工具表面）以及玻璃或塑料涂层的厚度测量。

光谱共焦在狭小空间亦具有很大的灵活性。紧凑的控制器和光学探头通过光纤连接。这使得它可以单独将光学探头与控制器分开。此外，探头不包含任何影响测量准确性的移动部件或发热电子元件。

由于其紧凑的尺寸和经济的价格，光谱共焦是传统激光三角测量传感器的理想替代品。

规格表

	VAS 500	VAS 4K	VAS 10K	VIS 600	VIS 4K	VIS 10K
测量范围	500 μm	4 mm	10 mm	600 μm	4 mm	10 mm
工作距离 1)	12.7±0.5 mm	37.5±0.9 mm	71.5±3mm	6.5 mm	37.5 ± 0.9 mm	69 ± 1.7 mm
厚度测量范围 2)	最大0.75 mm	最大6 mm	最大15 mm	最大900 μm	最大 6mm	最大 15mm
轴向分辨率	20 nm	160 nm	400 nm	3 nm	180 nm	400 nm
线性精度	170 nm	1.6 μm	4 μm	198 nm	1.4 μm	4 μm
横向分辨率	2.5 μm	8.5 μm	16 μm	2 μm	4 μm	16 μm
测量角度 3)	90°±45°	90°±20°	90°±14°	90°±30°	90°± 20°	90°± 14°
重量	250 g	57g	86g	71 g	162 g	209 g