光谱共焦测量系统

光谱共焦测量系统

通过光学检测实现质量控制

单点紧凑型光学传感器
半导体和一般微电子领域的晶圆测量
机械或光学部件的测量和在线控制
测量和控制玻璃或塑料薄膜的厚度

概述

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我们的新型光谱共焦传感器可实现高精度无接触距离和厚度测量。因此,非常适合用于位置和尺寸确定(如微电子元件)、形貌、轮廓等应用,以及粗糙度测量(如工具表面)以及玻璃或塑料涂层的厚度测量。


光谱共焦在狭小空间亦具有很大的灵活性。紧凑的控制器和光学探头通过光纤连接。这使得它可以单独将光学探头与控制器分开。此外,探头不包含任何影响测量准确性的移动部件或发热电子元件。


由于其紧凑的尺寸和经济的价格,光谱共焦是传统激光三角测量传感器的理想替代品。

规格表


VAS 500VAS 4KVAS 10KVIS 600VIS 4KVIS 10K
测量范围500 μm4 mm10 mm600 μm4 mm10 mm
工作距离 1)12.7±0.5 mm37.5±0.9 mm71.5±3mm6.5 mm37.5 ± 0.9 mm69 ± 1.7 mm
厚度测量范围 2)最大0.75 mm最大6 mm最大15 mm最大900 μm最大 6mm最大 15mm
轴向分辨率20 nm160 nm400 nm3 nm180 nm400 nm
线性精度170 nm1.6 μm4 μm198 nm1.4 μm4 μm
横向分辨率2.5 μm8.5 μm16 μm2 μm4 μm16 μm
测量角度 3)90°±45°90°±20°90°±14°90°±30°90°± 20°90°± 14°
重量250 g57g86g71 g162 g209 g

备注:

1) 光学探头底部到测试量程中间

2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上

3) 大角度偏转时精度降低

所列数据为典型使用环境下得出,在不同环境条件下可能不同。

特色

高效性

性价比高的解决方案

最先进的光谱共焦技术

所有表面的测量

同轴测量,无阴影效应


多样性

易于集成

光学探头和控制器独立

免维护,耐用

占用空间少


用户友好&安全

对温度和污染不敏感

重量轻

低能耗

应用

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