通过光学检测实现质量控制
单点紧凑型光学传感器
半导体和一般微电子领域的晶圆测量
机械或光学部件的测量和在线控制
测量和控制玻璃或塑料薄膜的厚度
我们的新型光谱共焦传感器可实现高精度无接触距离和厚度测量。因此，非常适合用于位置和尺寸确定（如微电子元件）、形貌、轮廓等应用，以及粗糙度测量（如工具表面）以及玻璃或塑料涂层的厚度测量。
光谱共焦在狭小空间亦具有很大的灵活性。紧凑的控制器和光学探头通过光纤连接。这使得它可以单独将光学探头与控制器分开。此外，探头不包含任何影响测量准确性的移动部件或发热电子元件。
由于其紧凑的尺寸和经济的价格，光谱共焦是传统激光三角测量传感器的理想替代品。
| VAS 500 | VIS 600 | VIS 4K | VIS 10K | |
| 测量范围 | 500 μm | 600 μm | 4 mm | 10 mm |
| 工作距离 1) | 12.7±0.5 mm | 6.5 mm | 37.5 ± 0.9 mm | 69 ± 1.7 mm |
| 厚度测量范围 2) | 最大0.75 mm | 最大900 μm | 最大 6mm | 最大 15mm |
| 轴向分辨率 | 20 nm | 3 nm | 180 nm | 400 nm |
| 线性精度 | 170 nm | 198 nm | 1.4 μm | 4 μm |
| 横向分辨率 | 2.5 μm | 2 μm | 4 μm | 16 μm |
| 测量角度 3) | 90°±45° | 90°±30° | 90°± 20° | 90°± 14° |
| 重量 | 250 g | 71 g | 162 g | 209 g |
备注：
1) 光学探头底部到测试量程中间
2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上
3) 大角度偏转时精度降低
所列数据为典型使用环境下得出，在不同环境条件下可能不同。
高效性
性价比高的解决方案
最先进的光谱共焦技术
所有表面的测量
同轴测量，无阴影效应
多样性
易于集成
光学探头和控制器独立
免维护，耐用
占用空间少
用户友好&安全
对温度和污染不敏感
重量轻
低能耗
