测量行程(XY)：420x520 mm-660x700 mm
测量高度(Z)：160-400 mm
适用于PCB电路板，手机，垫片密封圈，汽车，机加工，金属薄片等行业，可添加探针系统，激光系统，白光系统，旋转夹头系统，构建复合传感器测量系统，完成一些特殊尺寸的测量。
使用崭新的技术，提供高速度与精确度，建立出可靠以及可信赖的测量系统。
该系统包括InSpec测量软件，可程式化的光学变焦，3X的数码变焦，非线性平台补偿，非线性光学补偿，先进的LED光源系统以及温度检测仪。
InSpec测量软件功能强大：使用鼠标就能轻松编写程序，专有的系统寻边功能，先进的光源控制及校正功能，与复合传感器结合，自动校正，可清晰显示测量资料及公差。
| 型号 | 测量行程(mm) | 机台承重 (kg) | XY轴最大速度(mm/s) | Z轴最大速度(mm/s) | 分辨率 | 承载重量 | 外观尺寸(mm) |
| Excel 511 | 420x520x160 | 732 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1629 |
| Excel 512 | 420x520x250 | 739 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1803 |
| Excel 701 | 660x700x160 | 1611 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1647 |
| Excel 702 | 660x700x250 | 1613 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1819 |
| Excel 704 | 660x700x400 | 1615 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x2119 |
