鐳射測頭可加裝在Micro-Vu影像量測系統中。
InSpec軟體內已含鐳射使用的功能。
鐳射感測器在被測工件表面上投射一個可見光斑，由工件表面反射鐳射信號到感測器上。當感測器與被測工件間的距離發生變化時，鐳射反射角度產生相對變化，使感測器內感光元件上的成像位置產生相對變化。
在操作Micro-Vu影像量測儀時，可使用鐳射測頭執行高度量測、快速對焦以及工件平面度的量測，亦可編輯程式執行自動量測。其主要功能是輔助影像量測儀完成特殊尺寸的量測。
根據不同材質與用途有2種鐳射型號：
型號 | LSM4-10 | LSM4-2 |
量測範圍(MR) | 10 mm | 2 mm |
量測距離 | 30/35/40 mm | 24/25/26 mm |
光斑尺寸 | 75x85/32x45/110x160 μm | 55x85/23x23/35x85 μm |
線性度 | <±2 μm | <±0.6 μm |
解析度 | 0.15 μm | |
用途 | 鏡面反射(光亮面)，漫反射(粗糙面) | |
應用範圍 | 量測行程大 | 精度高，光斑小 |
備註：
1. 鐳射安全等級：二級；請勿注視光束。
2. 適用機型：Vertex 261，341，342；Excel 511，512，701，702，704。
3. SMR=量測範圍起點；MMR=量測範圍中點；EMR=量測範圍終點。
非接觸式量測，無磨損，抗干擾
安裝距離大，可完成特殊表面的量測任務
量測光斑小，適用於結構小巧的零部件的精確量測
量測效率高，高速的即時動態量測
