零件側面的孔洞或是溝槽等，
以接觸式探針量測
接觸式探針系統，可以選購添加在Micro-Vu影像量測系統中，以構建複合感測器量測系統，輔助影像量測儀完成一些特殊尺寸的量測。
輔助影像量測儀完成一些特殊尺寸的量測，包括：
1.量測高度：利用量測頭可以量測高度的特性來量測工件表面的高度差；
2.量測球體、柱體：利用量測頭的多方向點接觸可量測到影像量不到的位置；
3.量測平面度：利用量測頭可以量測高度和速度快的特性來快速量測工件表面的平面度。
多種觸發力，使測頭性能能夠完全符合量測需求。
模組 | SF 標準測力 | MF 中測力 | EF 高測力 | Vertex 261 | Vertex 341 | Vertex 342 | Excel 511 | Excel 512 | Excel 701 | Excel 702 | Excel 704 |
TP20-2 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP20-4 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||
TP20-4+ | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP20-6 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP20-6+ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||
TP200-2 | √ | √ | √ | √ | |||||||
TP200-4 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP200-4+ | √ | √ | √ | √ | |||||||
TP200-6 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP200-6+ | √ | √ | √ | √ |
備註：
1. TP20-SF標準測力：XY: 0.08N/Z: 0.75N
TP20-MF中測力：XY: 0.1N/Z: 1.9N
TP20-EF高測力：XY: 0.1N/Z: 3.2N
TP200-SF標準測力：XY: 0.02N/Z: 0.07N
2. 探針精度跟隨測針尺寸不同而定。
3. TP20和TP200不可同時用於同一置換架。
1. 影像量測系統與接觸式探針系統相結合，適用於Vertex和Excel系列機型
2. 多種測頭模組，滿足各種量測應用的需求
3. 多座探針置換架，快速自動更換測頭，無需重新校正
4. InSpec軟體提供直覺的測頭裝置界面，自動測頭校正和探針置換架
