通過光學檢測實現品質控制
單點緊湊型光學感測器
半導體和一般微電子領域的晶圓量測
機械或光學部件的量測和線上控制
量測和控制玻璃或塑膠薄膜的厚度
我們的新型光譜共焦感測器可達成高精度無接觸距離和厚度量測。因此，非常適用於位置和尺寸確定（如微電子元件）、形貌、輪廓等應用，以及粗糙度量測（如工具表面）以及玻璃或塑膠塗層的厚度量測。
光譜共焦在狹小空間亦具有很大的靈活性。細緻的控制器和光學探頭透過光纖連接接。這使得它可以單獨將光學探頭與控制器分開。此外，探頭不包含任何影響量測準確性的移動零件或發熱電子元件。
由於其細緻的尺寸和實惠的價格，光譜共焦是傳統雷射三角量測感測器的理想替代品器的理想替代品。
| VAS 500 | VIS 600 | VIS 4K | VIS 10K | |
| 量測範圍 | 500 μm | 600 μm | 4 mm | 10 mm |
| 工作距離 1) | 12.7±0.5 mm | 6.5 mm | 37.5 ± 0.9 mm | 69 ± 1.7 mm |
| 厚度量測範圍 2) | 最大0.75 mm | 最大900 μm | 最大 6 mm | 最大 15 mm |
| 軸向解析度 | 20 nm | 3 nm | 180 nm | 400 nm |
| 線性精度 | 170 nm | 198 nm | 1.4 μm | 4 μm |
| 橫向解析度 | 2.5 μm | 2 μm | 4 μm | 16 μm |
| 量測角度 3) | 90°±45° | 90°±30° | 90°± 20° | 90°± 14° |
| 重量 | 250 g | 71 g | 162 g | 209 g |
備註：
1) 光學探頭底部到量測範圍中間
2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上
3) 大角度偏轉時精度降低
所列資料為典型使用環境下得出，在不同環境條件下可能不同。
高效性
性價比高的解決方案
最先進的光譜共焦技術
所有表面的量測
同軸量測，無陰影效應
多樣性
易於集成
光學探頭和控制器獨立
免維護，耐用
佔用空间少
簡便易用&安全
對溫度和污染不敏感
重量輕
低耗能
